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Advanced Energy Industries, Inc.는 새로운 컨버터
플랫폼과 두 가지 독점적 인광체 기술로 FluorOptic® 온도
측정(FOT) 솔루션의 Luxtron® 제품군을 확장했다.
Rubilux 및 VioLux 인광체 기술이 탑재된 Luxtron
M-1000 컨버터는 반도체 식각 및 증착 공정 애플리케이션
에서 wide temperature range와 accuracy로 온도 측정
이 가능하다.
새로운 광원과 개선된 low noise 광검출 기능을 갖춘
Luxtron M-1000은 ±0.2 °C의 낮은 accuracy, 0.05
°C보다 높은 안정성, 업계에서 가장 넓은 .200~450 °C
의 동작 범위를 구현해 dual 채널을 제공한다. 이 컨버터는
전체 온도 범위를 수용하기 위해 두 형광체 기술 모두 동시
에 작동하도록 최적화 됐다.
수십 년 동안 Advanced Energy의 Luxtron FOT 감지
기술은 높은 온도 정확도와 넓은 작동 범위로 업계를 선도해
왔다. Luxtron FOT 감지 시스템은 인광체 코팅 광섬유 프
로브와 고급 광원, 광검출기 독점 소프트웨어 알고리즘 및
로우 노이즈 증폭 회로를 통합하는 고성능 컨버터를 결합한
다. 측정이 광학 감지에 기반해 이뤄지기 때문에 Luxtron
FOT 시스템은 플라스마 식각 및 증착, MRI 시스템 및 전
력 변압기를 포함해 강한 전자기장을 포함하는 공정에서 기
존 전기 센서보다 더 높은 정확도를 제공한다.
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