Teledyne Technologies 계열사이자 이미징 솔루션 분야 선도기업 Teledyne e2v와 스페셜티 파운드리 업체인 TowerJazz [Nasdaq: TSEM]는 초고해상도 검사와 하이 엔드 감시 및 현미경 검사용으로 설계된 Teledyne e2v Emerald™ 67M 이미지 센서가 출시되었다고 발표했다.
이 센서는 Teledyne e2v의 Emerald 제품군으로 출시되었으며 일본 우오즈시 팹(300 mm)에서 TowerJazz의 65 nm 플랫폼과 세계 최소형 2.5 μm 저 노이즈 글로벌 셔터 픽셀을 사용해 만들어진 것이 특징이다. 픽셀에는 독창적인 광 파이프 기술이 적용되어 뛰어난 각 반응(angular response)과 80 dB 이상의 셔터 효율성을 초소형, 적은 노이즈 (one electron)로 제공한다. 이와 같은 독특한 픽셀 아키텍처는 훨씬 작은 결함을 탐지함으로써 제조 수율을 개선할 수 있는 최첨단 성능을 제공한다.
TowerJazz가 단독으로 제조하는 Emerald 제품 군 센서는 고객에게 예전에 없던 특성을 제공하며 10 GigE, CoaXPress, Camera Link, Camera Link HS 등을 포함한 고속 인터페이스 시스템에 모두 적용 가능하다. 특징적인 요소로는 최대 120 dB의 다이내믹 레인지 HDR 모드가 있으며, 독창적인 ROI(Region Of Interest)모드를 이용하여 각기 다른 노출 조건으로 다수의 ROI를 캡처, 이미지의 다이내믹 레인지를 더 향상시킬 수 있다.
Emerald 67M은 가로, 세로 방향의 해상도가 8k인 정사각형 모양으로 제품 검사 시 애플리케이션에 따라서 이미지 영역의 95 %를 활용할 수 있다.
또 초고해상도이므로 대형 제품을 검사할 때 비전 시스템의 움직임을 최적화해 시스템의 복잡성을 줄이고 불안정성도 없앨 수 있다. 60 fps 초고속과 30 fps 고속 두 가지 스피드 등급으로 출시된다.